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固定式氣體檢測儀用于檢測各種潛在的危險氣體。根據(jù)氣體的電化學(xué)和催化性質(zhì)，采用了不同的檢測原理。它是一種防爆設(shè)備，可安裝在危險區(qū)域。
在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中，氣體的純凈度是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的核心要素之一。超高純工藝氣體在氣相沉積、刻蝕等關(guān)鍵工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，而氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)則可能對生產(chǎn)過程造成嚴重影響，導(dǎo)致芯片缺陷、良品率下降甚至設(shè)備損壞。因此，高效可...
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