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半導(dǎo)體氣體過濾器
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德國替用真空計DN16/25KF濾網(wǎng)耐熱耐腐蝕中心支架過濾網(wǎng)

  • KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風(fēng)，適合短時間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合，

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真空系統(tǒng)氣體過濾器

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