TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝100%完整性測(cè)試

? 100%氨氣檢漏測(cè)試

T型過濾器

·聯(lián)合閥帽設(shè)計(jì)，更安全

·工作溫度:-28~+482℃

.工作壓力可達(dá):414bar (6000psig)可選配底部旁通道，可用于取樣和清洗

技術(shù)參數(shù)