恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備。其過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。

產(chǎn)品特點(diǎn)

●  整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)：采用316L不銹鋼材質(zhì)，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。

●  超高顆粒攔截率：顆粒攔截效率高達(dá)99.9999999%，能夠有效去除0.003μm以上的顆粒。

●  高流量、高強(qiáng)度、穩(wěn)定可靠：設(shè)計(jì)用于高流量氣體供應(yīng)，確保氣體供應(yīng)的穩(wěn)定性和可靠性。

●  適用于多種工藝氣體：與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，滿足不同工藝需求。

●  可選其他點(diǎn)位在線安裝：安裝方便快捷，可根據(jù)工藝需求選擇不同的安裝位置。

●  100%完整性測試與氨氣檢漏測試：出廠前經(jīng)過嚴(yán)格測試，確保產(chǎn)品的高質(zhì)量和可靠性

0F系列在線式專用氣體過濾器廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

●  半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，氣體的高純度對產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。該過濾器能夠有效去除氣體中的雜質(zhì)，確保半導(dǎo)體制造工藝的純凈度。

●  LED與光伏產(chǎn)業(yè)：在LED和光伏生產(chǎn)中，氣體的純凈度直接影響產(chǎn)品的性能和壽命。0F系列過濾器能夠提供超高純度過濾，滿足這些行業(yè)的嚴(yán)格要求。

●  MEMS設(shè)備：在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)備制造中，氣體的純凈度對設(shè)備的精度和可靠性至關(guān)重要。該過濾器能夠確保氣體的高純度，保障MEMS設(shè)備的生產(chǎn)質(zhì)量。

●  大流量特種氣體供應(yīng)：適用于需要大流量氣體供應(yīng)的場合，如大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)，確保氣體供應(yīng)的穩(wěn)定性和純凈度。

●  超高純度氣棒：在需要超高純度氣體的工藝中，如氣棒應(yīng)用，0F系列過濾器能夠提供可靠的氣體凈化解決方案。

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