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首先呢,你得搞清楚自己要過(guò)濾啥氣體。就像做飯得知道食材一樣,半導(dǎo)體工藝?yán)镉玫臍怏w可不少,像氫氣、氮?dú)膺@些。而且每種氣體的脾氣還不一樣呢。比如氫氣,它愛(ài) “發(fā)火”(易燃易爆),那選過(guò)濾器的時(shí)候,材料和密封得特別好,別讓它有機(jī)會(huì) “鬧事”;氧氣...
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