恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成，通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質(zhì)去除，并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

產(chǎn)品特點(diǎn)及規(guī)格:

1、耐高溫耐高壓耐腐蝕

2、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

3、適用于多種工藝氣體

4、高通量、低阻力

5、超高顆粒攔截效率

6、100%氨氣檢露測試

7、內(nèi)置0.003-100微米過濾器

8、出口氣體各雜質(zhì)含量小于5ppb

9、可配置兩閥、三閥和四閥等組件

透氣孔徑：

納米級(jí)：3nm、7nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米級(jí)的：0.003-100μm

產(chǎn)品應(yīng)用

恒歌半導(dǎo)體氣體純化過濾器專業(yè)應(yīng)用于半導(dǎo)體制程超純工藝氣體在線過濾、大流量電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)、集體氣體輸送分配、氣體限流，特別適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體的過濾。