氣體中去除塵粒常用的方法是過濾法，其過濾機理是利用流過各種過濾材料(元件)的氣體，主要受到擴散、攔截和撞碰沖擊的作用，將氣體中夾帶的塵粒去除。一般要求氣體過濾器將某一規(guī)定粒徑的微粒幾乎是全部去除，因此過濾效率都要求 6 個 9 以上。

氣體過濾器的種類較多，按照氣體過濾器的過濾精度劃分，目前較為流行的是按去除的塵粒粒徑及過濾效率來標注，如去除氣體中≥0.01μm 的塵粒的過濾效率達 99.999 999%以上等。

若按過濾材料的不同，又可分為多孔金屬過濾器、多孔玻璃或陶瓷過濾器、纖維濾芯過濾器、微孔濾膜過濾器、紙過濾器等。

恒歌氣體過濾器定制

國外的某廠家生產(chǎn)的氣體過濾器，采用 PTFE 濾膜作濾芯，外殼采用內(nèi)壁電拋光 316L 不銹鋼外殼，過濾精度為 0.05μm，過濾效率達 99.999 999%，可用于雜質(zhì)含量為 109級的高純氣體過濾。

各種氣體過濾器的過濾精度或過濾效率主要取決于所采用的過濾元件和過濾器的結(jié)構(gòu)。

對于高精度氣體過濾器應(yīng)選擇精度高、無二次污染和去除粒徑符合要求的過濾元件，并應(yīng)具備優(yōu)良的氣密性、無滲漏現(xiàn)象的結(jié)構(gòu)設(shè)計，即結(jié)構(gòu)設(shè)計應(yīng)確保不發(fā)生過濾元件前后的內(nèi)滲和過濾器內(nèi)外的滲漏，使氣體過濾器的性能基本達到過濾元件的過濾精度，氣體過濾器的結(jié)構(gòu)應(yīng)做到氣密性好、牢固、可靠和便于清洗、更換過濾元件。

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